氦質(zhì)譜檢漏儀離子源由燈絲(陰極)、燈絲槊、離化室及離子加速極組成。它的作用是使氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。盡管結(jié)構(gòu)多種多樣，但最主要還是尼爾型離子源。燈絲為直徑0.18~0.20mm的鎢絲，通過(guò)燈絲架被準(zhǔn)確安放在離化室電子人口上方約0.5mm處，它通過(guò)直接加熱而發(fā)射電子。離化室是一扁平的矩形盒子，其頂部和側(cè)面各開一個(gè)狹縫，分別供熱電子射人和離子引出之用。

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室

離化室與燈絲之間加200V的電離電壓，在該電壓下，熱陰極發(fā)射的電子能將離化室中的氣體電離。離化室與離子加速極間加300~400V可調(diào)電壓，即為加速電壓，加速離子使之穿過(guò)離子加速極正面的矩形縫隙進(jìn)入磁分析器。若用交流放大器放大離子流時(shí)，離化室與加速極之間還疊有5~7Hz、15V的交流調(diào)制電壓。氦質(zhì)譜檢漏儀離子加速極位于離化室正面約5mm處與外殼相連接地。

離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。其結(jié)構(gòu)如圖所示。它由燈絲（陰極）、離化室及離子加速極組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀離子源示意圖

燈絲在真空中通電加熱后發(fā)射電子，在離化室與燈絲之間的電場(chǎng)的作用下，電子加速穿過(guò)離化室頂部狹縫進(jìn)入離化室，在離化室中與氣體分子發(fā)生多次碰撞后損失能量，最后打到分子電離形成正離子，正離子在離化室與加速極之間的電原U（即離子加速電壓）作用下，相繼穿過(guò)離化室正面的矩形狹縫和加速極的矩形狹縫，由于加速電場(chǎng)對(duì)離子做的功轉(zhuǎn)變?yōu)殡x子的動(dòng)能，便形成具有一定能量的離子束。

由于離子是由中性氣體分子失去Z個(gè)帶負(fù)電荷e的電子而形成的，所以離子電荷為正的Ze。由于各種氣體的離子均受同一電場(chǎng)的加速，當(dāng)它們的電荷量相等時(shí)，它們的能量相等，但由于質(zhì)荷比不同，故運(yùn)動(dòng)速度也就不同。

安徽諾益科技生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀憑借卓越的品質(zhì)及穩(wěn)定的性能已廣泛應(yīng)用在眾多行業(yè)上，滿足各種應(yīng)用.?

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