硅烷燃燒凈化塔是采用高溫高壓下，利用空氣與硅烷在高溫、高壓下的反應生成物作為吸收劑，

將廢氣中的有害成分分解為二氧化碳和氮氣等，從而達到凈化的目的。

該設備具有投資小、運行費用低，操作維護方便等特點。

流程：

廢氣的收集→預處理→凈化塔內(nèi)循環(huán)（脫除煙塵及部分有害成份）→排放。

說明：

1.廢氣的收集：

氣體經(jīng)排風管進入預處理段，由于廢氣中含有多種雜質(zhì)，所以，需對氣體進行過濾，使含塵量控制在30mgm3以下。

2.預處理：

濾后的潔凈氣體由離心風機從高處引入到預熱段，再通過文氏管加熱至°C以上，以除去廢氣中大部分水分。然后，再經(jīng)過填料層，使氣流呈湍流狀態(tài)，并充分吸收來自各點的熱量，從而提高溫度。

3.凈化塔內(nèi)循環(huán)：

凈化塔的進風口裝有熱回收裝置，其作用是將排風機的余熱回收到預熱段，防止了冷量的浪費，同時提高了排氣溫度，有利于污染物的去除。

4.排出：

凈化后的氣體，經(jīng)出風口排出，達標后，自動關閉閥門。