芯片制造對(duì)水質(zhì)的要求是十分苛刻的，對(duì)于大眾來說，平時(shí)接觸的自來水(飲用水)的渾濁度小于1NTU(根據(jù)現(xiàn)行《生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》GB5749-2022)。這樣的自來水在肉眼看來，就已經(jīng)非常干凈了。但是，這在電子行業(yè)，尤其是芯片制造領(lǐng)域，還差得很遠(yuǎn)很遠(yuǎn)。在芯片生產(chǎn)過程看來，自來水里面雜質(zhì)多到什么程度?就好比是一鍋粥!所以，芯片行業(yè)需要對(duì)生產(chǎn)用水進(jìn)行苛刻的純化處理。

　　第一層次——去離子水：采用物理、化學(xué)方法，去除溶于水中的電解質(zhì)，獲得電阻率在0.1~10MΩ·cm的水(真正純凈的水可被視為絕緣體，生活中的水導(dǎo)電，是因?yàn)槠渲杏须s質(zhì))。這個(gè)過程去除了水中的電解質(zhì)，但溶于水中的非電解質(zhì)(如有機(jī)物、微生物、顆粒物、溶解性氣體等)大部分未被去除。

　　第二層次——純水：采用物理、化學(xué)方法，去除了水中的幾乎全部電解質(zhì)與非電解質(zhì)，且水中陽離子和陰離子、有機(jī)物、顆粒物、微生物等含量受到一定控制。此時(shí)，純水的電阻率在10~18.2MΩ·cm(25℃)，可以被視其為絕緣體了。

　　第三層次——超純水：如果將水中陽離子、陰離子、有機(jī)物、顆粒物、微生物都進(jìn)行嚴(yán)格控制，這還不算完，再對(duì)水中溶解氣體進(jìn)行嚴(yán)格控制，此時(shí)水的電阻率達(dá)到18.2MΩ·cm(25℃)以上(接近理論值18.25MΩ·cm，25℃時(shí))。

　　超純水設(shè)備結(jié)合膜分離技術(shù)，利用反滲透結(jié)合EDI裝置制備超純水，出水電阻率可達(dá)18.2MΩ.cm(25℃)，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)用水的需求。同時(shí)，設(shè)備還配備了反滲透預(yù)脫鹽技術(shù)，以確保設(shè)備的出水水質(zhì)。同時(shí)，EDI處理裝置產(chǎn)生的廢水較少，不會(huì)污染環(huán)境，具有較高的環(huán)境效益和經(jīng)濟(jì)效益，具有廣闊的發(fā)展前景。

　　編輯：杜鵑花 技術(shù)：米

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