標(biāo)題：原理及分類

1按工作原理可分為抽除式泵、捕集式泵

(1)抽除式泵。其原理是通過(guò)抽吸系統(tǒng)中的氣體，將其排至系統(tǒng)外來(lái)獲得真空。例如液環(huán)泵、旋片泵、滑閥泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、往復(fù)泵等。(2)捕集式泵。其原理是捕集系統(tǒng)中的氣體分子，將其直接吸附在泵的工作壁面上而不排出系統(tǒng)。例如吸附泵等。

2.1.1抽除式泵主要包括變?nèi)菡婵毡煤蛣?dòng)量傳輸泵(1)變?nèi)菡婵毡?，是利用泵腔容積的周期變化來(lái)完成吸氣排氣，達(dá)到抽氣目的。可分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式。往復(fù)式泵是利用泵腔內(nèi)活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)而將氣體吸入、壓縮并排出的泵。旋轉(zhuǎn)式泵是利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)將氣體吸入、壓縮并排出的泵。變?nèi)菡婵毡每煞譃?油封式泵(主要包括旋片、定片、滑閥、余擺線式等 )、液環(huán)泵、羅茨泵等。(2)動(dòng)量傳輸泵。是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體分子，氣體分子從泵的入口傳輸?shù)匠隹?。主要包?@分子真空泵。是在分子流區(qū)域內(nèi)依靠高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子動(dòng)量，使氣體分子在剛體表面運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)，從而達(dá)到抽氣目的獲得真空的泵。主要有牽引分子泵、渦輪分子泵和兩者的組合。@噴射式真空泵。主要包括以下幾種:噴射泵。利用文丘里效應(yīng)的壓力降產(chǎn)生的高速射流而把氣體輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵?？煞譃橐后w噴射泵、氣體噴射泵、蒸汽噴射泵。擴(kuò)散泵。以低壓油或汞等高速蒸汽流作為工作介質(zhì)，氣體分子擴(kuò)散到蒸汽射流中，然后被送到出口。它適于在分子流狀態(tài)，氣體分子密度始終很低。擴(kuò)散噴射泵。是一種由擴(kuò)散泵與噴射泵的組合。例如油增壓泵。@離子傳輸泵。是將被電離的氣體在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用下，輸送到出口的動(dòng)量傳輸泵

相

2捕集式泵主要包括吸附泵(利用表面吸附劑的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵)、吸氣劑泵(利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的一種真空泵，吸氣劑通常是金屬或合金，存在形式是以塊狀或沉積新鮮道膜形式，比如升華泵)、吸氣劑離子泵( 將被電離的氣體通過(guò)電場(chǎng)、電磁場(chǎng)作用吸附在有吸氣材料的表面，以達(dá)到抽氣目的的泵)、低溫泵(利用低溫表面捕集氣體的泵)。