超純水是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的洗滌劑。那么，在半導(dǎo)體生產(chǎn)中使用超純水會(huì)有什么影響呢?在用納米超精細(xì)工藝處理半導(dǎo)體時(shí)，如果在各種工藝前后留下一個(gè)小顆粒，則會(huì)導(dǎo)致誤差。因此，在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以確保清潔度并提高半導(dǎo)體生產(chǎn)率(輸出)。

? ? ? 半導(dǎo)體的生產(chǎn)需要經(jīng)過8個(gè)主要工序。超純水主要用于半導(dǎo)體制造中某些工序前后的清洗。例如，在蝕刻工藝之后，切割晶圓并用超純水清洗殘余碎片?；蛘撸陔x子注入過程之后，清潔殘余離子。此外，超純水還可用于晶圓拋光或晶圓切割。

由于超純水在許多指標(biāo)上對(duì)半導(dǎo)體的要求很高，因此半導(dǎo)體行業(yè)的超純水與其他行業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)超純水有極其嚴(yán)格的水質(zhì)要求。

　　在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，硼是一種p型雜質(zhì)。過量會(huì)使n型硅反轉(zhuǎn)，從而影響電子和空穴的濃度。因此，在超純水工業(yè)中應(yīng)充分考慮硼的去除。如果硼離子含量能夠達(dá)到較低的指標(biāo)，則必然會(huì)提高半導(dǎo)體的性能。

硼選擇吸附樹脂

是一款去除水溶液中硼及其鹽的選擇性離子交換樹脂。在一些化工工業(yè)以及農(nóng)業(yè)用水中，微量的硼或者硼鹽都可能是嚴(yán)重的問題。此種樹脂可以在較大的PH 范圍內(nèi)甚至有其他離子存在的溶液中有效的去除硼以及硼鹽，并且具有更多的數(shù)量。

工藝優(yōu)勢

1、是一款去除水溶液中硼及其鹽的選擇性離子交換樹脂

2、可以在較大的PH 范圍內(nèi)甚至有其他離子存在的溶液中有效的去除硼以及硼鹽

3、除硼可以做到10PPT級(jí)別

詳細(xì)參數(shù)? ? ? ? ??

主體結(jié)構(gòu)/Matrix structure? ? ? ? ? ? ? 交聯(lián)聚苯乙烯/Cross linked polystyrene

物理型式/Physical form? ? ? ? ? ? ? ? 含水球狀/Wet spherical beads

官能團(tuán)/Functional group? ? ? ? ? ? ? ?胺聚羥基/Poly hydroxy amine? ??

目數(shù)/Screen size USS (濕)? ? ? ? ? ? ? ?16? to? 50

粒度/Particle size(95% minm.)? ? ? ? ? ? 0.3 - 1.2 mm

濕度/Moisture content? ? ? ? ? ? ? ? ? 46±3%

反洗穩(wěn)定密度/Backwash settled density? ?680 - 720 gm/lit(43 - 47 lbs/cft)

大溫度/Maximum Thermal Stability? ? ?80℃（175℉）

總交換量/Total exchange capacity? ? ? ? 0.8 meq/ml

平衡硼量/Equilibrium boron capacity? ? ? 5.7 meq/ml

離子型式/Ionic form as shipped? ? ? ? ? 氯/Chloride

?作者：李增歡19972422325 https://www.bilibili.com/read/cv21974861?spm_id_from=333.999.0.0 出處：bilibili