QF系列八軸超精密氣浮運動臺

產品特點

l??平面式氣浮直線臺，超性能精度。

l??AC軸正交性≤2arc sec,軸心線重合度≤2μm.

l??Z1軸單軸氣浮結構，Z2龍門氣浮軸，滿足大負載的要求。

l??全閉環(huán)控制，實現(xiàn)超精密運動。

背景介紹

? ? ?? 八軸超精密氣浮運動臺應用于曲面超精密加工及測量，近年來精密加工及測量產業(yè)迅猛發(fā)展，機械線軌運動臺在行業(yè)日漸不能滿足，我司研發(fā)的雙工位超精密氣浮運動臺，提升精度的同時，也提升工作效率。

結構優(yōu)勢

? ? ?? XY軸為平面式龍門氣浮直線臺，降低工作點的高度，提升精度性能。

? ? ?? AC軸為氣浮轉臺，百納米跳動誤差及特殊設計A軸徑向剛度為整個系統(tǒng)提供了較高的精度性能。

? ? ?? Z軸雙工位應用：Z1軸安裝到前面龍門橋架上，采用低摩擦重力平衡氣缸配重 ，負載垂直朝下應用；Z2軸安裝到后面大理石橋架上，為龍門氣浮，負載可水平超前放置，配合XYAC軸實現(xiàn)超精密加工及測試應用。行程可根據(jù)用戶需求定制。

線纜管理

? ? ?? 精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的電纜，以確保無故障操作。