一、校準準備工作

在進行真空計的校準之前，需要確保校準器量程及精度與需要校準的真空計相匹配。同時應保證真空計清潔干凈，確保不會造成誤差。準備好真空泵及真空泵控制器，以保證真空度的穩(wěn)定。對于不同類型的真空計，需要選擇不同的校準裝置和工具。

二、校準方法

1. 旋轉式真空計校準方法：

（1）將需要校準的真空計與校準器連接，打開校準器氣路，然后打開電源供應。

（2）使真空計的讀數與校準器相等，閥門關閉，記錄真空計的讀數。

（3）重復（2）這個步驟，使真空計的讀數在 1×10^-3 Torr 到 1×10^-6 Torr 之間，記錄每一個讀數。

（4）將校準器的輸出與真空計的真空狀況進行比較，如有誤差，調整校準器直到誤差最小或接近于零。

2. 熱離子真空計校準方法：

（1）打開真空系統(tǒng)，并調整至預設的氣體壓力和溫度。

（2）使真空計的讀數與校準器相等，閥門關閉，記錄真空計的讀數。

（3）使真空計的讀數在 1×10^-3 Torr 到 1×10^-9 Torr 之間，記錄每一個讀數。

（4）將校準器的輸出與真空計的真空狀況進行比較，如有誤差，調整校準器直到誤差最小或接近于零。

3. 冷陰極真空計校準方法：

（1）打開正常真空環(huán)境。

（2）使真空計的讀數與校準器相等，閥門關閉，記錄真空計的讀數。

（3）使真空計的讀數在 1×10^-6 Torr 到 1×10^-9 Torr 之間，記錄每一個讀數。

（4）將校準器的輸出與真空計的真空狀況進行比較，如有誤差，調整校準器直到誤差最小或接近于零。

三、注意事項

1. 對于旋轉式真空計、熱離子真空計和冷陰極真空計，校準前均需檢查對應的氣體校準曲線是否正確，以確保校準數據的準確性。

2. 校準器使用過程中需保持穩(wěn)定，避免震動或受潮的情況，造成誤差。

3. 記錄下每個讀數時，必須保持機器穩(wěn)定，避免誤操作。

4. 在進行校準時，真空計和校準器之間的連接必須嚴密，以保證精度和穩(wěn)定性。

5. 對真空計的校準要定期進行，以確保實驗或工作的精度和結果可靠性。

本文針對不同類型真空計給出了相應的校準方法及注意事項，希望對使用真空計的人員有所幫助和指導。在實驗或工作中，準確可靠的真空計對于結果的正確性和評估的準確性至關重要，因此需要按規(guī)范的方法進行校準，以確保精度和穩(wěn)定性。