書籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》

文章：集成電路制造過程

編號：JFKJ-21-220

作者：炬豐科技

凈化 ?

硅存在于石英巖中 ?

?僅次于氧的第二豐富元素?

?其他元素必須移除 ?

?將石英巖加熱到2000?C，然后通過重新提純 ?

化學(xué)過程 ?

硅現(xiàn)在是以棒狀的形式被鋸成晶圓??

晶圓制備

?晶圓被拋光，幾乎像鏡子一樣

?最后的化學(xué)處理去除拋光材料

?晶圓片包裝在超清潔設(shè)施中，并準(zhǔn)備就緒

制造過程

半導(dǎo)體制造工廠

熱氧化 略