氦質(zhì)譜檢漏儀是一種采用氦離子檢測技術(shù)的真空漏洞檢測儀器，它可以測量漏洞尺寸，檢測漏洞的位置，檢測漏洞的形狀，檢測漏洞的數(shù)量，檢測漏洞的類型，以及檢測漏洞的深度。氦質(zhì)譜檢漏儀可以迅速、準(zhǔn)確地檢測各種真空設(shè)備中的漏洞，并可以檢測出漏洞的位置、尺寸和數(shù)量。

氦質(zhì)譜檢漏儀由氦源設(shè)備、氦離子檢測系統(tǒng)、漏洞檢測系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。

1.氦源設(shè)備：氦源設(shè)備是氦質(zhì)譜檢漏儀的關(guān)鍵部件，負(fù)責(zé)將氦轉(zhuǎn)化為氦離子，并將氦離子發(fā)送到真空環(huán)境中。

2.氦離子檢測系統(tǒng)：氦離子檢測系統(tǒng)負(fù)責(zé)檢測氦離子的流量和真空環(huán)境中氦離子的傳播情況。

3.漏洞檢測系統(tǒng)：漏洞檢測系統(tǒng)承擔(dān)檢測漏洞的位置、尺寸和數(shù)量。

4.控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)控制氦源設(shè)備、氦離子檢測系統(tǒng)和漏洞檢測系統(tǒng)，并對檢測結(jié)果進(jìn)行收集、處理和顯示。

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