SEM-EDS即通過將掃描電子顯微鏡（SEM）和能譜（EDS）組合在一起，是一種對藥物或材料等成分進行分析的組合檢測設備。
? ?掃描電鏡（SEM）是由聚焦電子束在試樣的表面逐點掃描成像。高能量的電子與所分析的試樣物質相互作用，在樣品表面激發(fā)出次級電子，次級電子所獲得各種信息的二維強度和分布與試樣的表面形貌，晶體取向以及表面狀態(tài)等，通過接收和處理這些信息，可以得到表面試樣微觀形貌的掃描電子圖像。
? ?能譜（EDS）結合掃描電鏡使用，能進行材料微區(qū)元素種類與含量的分析。其工作原理是：各種元素具有自己的 X 射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量 E，能譜儀就是利用不同元素 X 射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。
? ?SEM-EDS可以進行各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸，晶體、晶粒取向測量等。
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